VDI/VDE 3719:2019 05

Herstellung von mechatronisch integrierten Baugruppen (Mechatronic Integrated Devices, MID)

DIN EN IEC 63000*VDE 0042-12:2019 05

Technische Dokumentation zur Beurteilung von Elektro- und Elektronikgeräten hinsichtlich der Beschränkung gefährlicher Stoffe (IEC 63000:2016); Deutsche Fassung EN IEC 63000:2018(Daneben gilt DIN EN 50581 (2013-02) noch bis 2023-12-07.)

VDI/VDE 3719 Blatt 1:2019 05

Herstellung von mechatronisch integrierten Baugruppen (Mechatronic Integrated Devices, MID) - Laserdirektstrukturierung

DIN VDE 0042-14*VDE 0042-14:2017 09

Anforderungen für die Vorbereitung zur Wiederverwendung von Elektro- und Elektronik-Altgeräten

DIN EN 62047-25:2017 04

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 25: Siliziumbasierte MEMS-Herstellungstechnologie - Messverfahren zur Zug-Druck- und Scherfestigkeit gebondeter Flächen im Mikrometerbereich (IEC 62047-25:2016); Deutsche Fassung EN 62047-25:2016

DIN EN 62047-26:2016 12

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 26: Beschreibung und Messverfahren für Mikro-Rillen und Nadelstrukturen (IEC 62047-26:2016); Deutsche Fassung EN 62047-26:2016

DIN EN 62047-1:2016 12

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe (IEC 62047-1:2016); Deutsche Fassung EN 62047-1:2016(Daneben gilt DIN EN 62047-1 (2006-10) noch bis 2019-02-10.)