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Technische Regel Entwurf
VDI/VDE 2655 Blatt 1.3
Ausgabedatum: 2018 03
Optische Messtechnik an Mikrotopographien - Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen für die Formmessung
Die Richtlinie charakterisiert die Interferenzmikroskope in ihren messtechnischen Eigenschaften zum Messen der Oberflächen von Formelementen. Darin eingeschlossen sind di...
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ZURÜCKGEZOGEN
: 2020 02 02
Format:
Digital | 31 Seiten
Sprache:
Deutsch
Aktuell Gültig:
ICS
Die Richtlinie charakterisiert die Interferenzmikroskope in ihren messtechnischen Eigenschaften zum Messen der Oberflächen von Formelementen. Darin eingeschlossen sind die Rückführung und die Berechnung der Messunsicherheit beim Messen von Form-Kenngrößen. Die beschriebenen Verfahren sind zusätzlich zu den in VDI 2655 Blatt 1.1 genannten Interferenzmikroskopen auch auf Interferometer anwendbar, deren Messfelder Abmessungen bis ca. Ø 20 mm haben können.
VDI/VDE 2655 Blatt 1.3
2020 02
Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern und...
Technische Regel
VDI/VDE 2655 Blatt 1.3
2018 03
Optische Messtechnik an Mikrotopographien - Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern un...
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Technische Regel
VDI/VDE 2655 Blatt 1.3
Ausgabedatum :
2020 02
Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen für die Formmessung