ÖNORM EN 1518

Diese Norm legt Begriffe und Verfahren für die Kenngrößenbestimmung von MSLD fest. Es soll kein kompletter Satz von Spezifikationen für eine Abnahmeprüfung gegeben, sondern es werden Vorgehensweisen beschrieben, die ohne spezielle Kalibrierausrüstung angewendet werden können. Diese Norm gilt für komplette Leckdetektoren mit einem Massenspektrometer (MS). Geräte dieser Art können selektiv den Gasstrom eines Prüfgases messen. In den meisten Fällen wird dieses Prüfgas Helium sein, das in ein oder aus einem Leck strömt. Ein MSLD in diesem Sinne hat ein integriertes Hochvakuumsystem, um den Sensor (das Massenspektrometer) bei niedrigem Arbeitsdruck zu halten und einen Partialdruck zu erzeugen, der von dem ankommenden Gasstrom abhängt. Dieser Druck wird vom MS gemessen. Die in dieser Norm beschriebenen Verfahren sind ohne Einschränkungen auf das Prüfgas Helium anwendbar. Für andere Gase können zusätzliche Vorsichtsmaßnahmen notwendig sein.