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In diesem Teil der IEC 62047 sind Begriffe für Bauelemente der Mikrosystemtechnik (MST) einschließlich der Fertigungsprozesse für solche Bauelemente festgelegt.
OVE EN 62047-1
2017 01 01
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik -- Teil 1: Begriffe (IEC 62047-1:2016) (...
Norm
ÖVE/ÖNORM EN 62047-1
2006 11 01
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe und Definitionen (IEC 620...
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