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In diesem Teil der DIN EN 62047 sind Begriffe für Bauteile der Mikrosystemtechnik einschließlich deren Herstellung festgelegt.
DIN EN 62047-1
2016 12
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe (IEC 62047-1:2016); De...
Norm
DIN EN 62047-1
2006 10
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe und Definitionen (IEC 620...
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