product image
Vorschau Merken

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik -- Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten (IEC 62047-17:2015) (englische Fassung)

ÖVE/ÖNORM EN 62047-17: 2016 02 01

Zusammenfassung:

This part of IEC 62047 specifies the method for performing bulge tests on the free-standing film that is bulged within a window. The specimen is fabricated with micro/nano structural film materials, including metal, ceramic and polymer films, for MEMS, micromachines and others. The thickness of the film is in the range of 0,1 µm to 10 µm, and the width of the rectangular and square membrane window and the diameter of the circular membrane range from 0,5 mm to 4 mm. The tests are carried out at ambient temperature, by applying a uniformly-distributed pressure to the testing film specimen with bulging window. Elastic modulus and residual stress for the film materials can be determined with this method.

Zusammenfassung

Dieses Dokument ist in folgenden Versionen erhältlich (Alle Preise sind Netto Preise)

Englische Fassung:
Papier 179,10 EUR
Download 179,10 EUR
effects Download 179,10 EUR
Jetzt Updateinfos und für ÖNORMEN AutoUpdates um bis zu -30% nutzen. Mehr lesen...

Vorgängerdokumente

DAZU PASSENDE PRODUKTE UND LEISTUNGEN

effects 2.0


Ihre Normen immer aktuell
und online verfügbar mit
unserer bewährten Normen-
Managementlösung.

            Weitere Informationen

meinNormenRadar


Mit dem Online-Recherche
Tool haben Sie stets einen
aktuellen Blick auf den
Lebenszyklus von Normen.

            Weitere Informationen