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Norm
ÖVE/ÖNORM EN 62047-16
Ausgabedatum: 2016 02 01
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik -- Teil 16: Messverfahren zur Ermittlung der Eigenspannungen in Dünnschichten von MEMS-Bauteilen - Substratkrümmungs- und Biegebalken-Verfahren (IEC 62047-16:2015) (deutsche Fassung)
In diesem Teil der IEC 62047 sind die Prüfverfahren zum Messen der Eigenspannungen dünner Schichten mit Dicken im Bereich von 0,01 µm bis 10 µm in MEMS-Strukturen auf Bas...
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Gültig
Herausgeber:
Austrian Standards International
Format:
Digital | 14 Seiten
Sprache:
Deutsch
Fachgebiete
IT, Kommunikation & Elektronik, Elektromechanische Bauelemente für elektronische und Telekommunikationsgeräte, Elektromechanische Bauelemente für elektronische und Telekommunikationsgeräte im Allgemeinen
IT, Kommunikation & Elektronik, Elektronische Bauelemente, Weitere Halbleiterbauelemente
IT, Kommunikation & Elektronik, Elektronische Bauelemente, Halbleiterbauelemente im Allgemeinen
Elektrotechnik & Lichttechnik, Elektromechanische Bauelemente für elektronische und Telekommunikationsgeräte, Elektromechanische Bauelemente für elektronische und Telekommunikationsgeräte im Allgemeinen
In diesem Teil der IEC 62047 sind die Prüfverfahren zum Messen der Eigenspannungen dünner Schichten mit Dicken im Bereich von 0,01 µm bis 10 µm in MEMS-Strukturen auf Basis der Waferkrümmung (Substrat-krümmung) oder des Biegebalkens (Cantilever) festgelegt. Die Schichten sollten auf einem Substrat mit bekannten mechanischen Eigenschaften von Elastizitätsmodul (Young-Modul) und Querkontraktionszahl (Poissonzahl) abgeschieden werden. Diese Verfahren werden angewendet, um die Eigenspannungen innerhalb von Dünnschichten auf Substrat zu bestimmen.
ÖVE/ÖNORM EN 62047-16
2016 02 01
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik -- Teil 16: Messverfahren zur Ermittlung...
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