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Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik -- Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten (IEC 62047-17:2015) (deutsche Fassung)

ÖVE/ÖNORM EN 62047-17: 2016 02 01

Zusammenfassung:

In diesem Teil der IEC 62047 ist das Verfahren für die Durchführung von Wölbungsprüfungen (Bulge-/Tiefen-Prüfungen) an einer freistehenden Schicht, die innerhalb eines Fensters gewölbt wird, festgelegt. Die Mikroprobe wird aus Mikro-/Nano-Schichtwerkstoffen hergestellt, welche Metall-, Keramik- oder Polymerschichten für MEMS-, Mikrosystem- oder andere Bauteile einschließen. Die Dicke der Schicht liegt im Bereich von 0,1 µm bis 10 µm und die Breite des rechtwinkligen oder quadratischen Membranfensters bzw. der Durchmesser der kreisförmigen Membran liegt im Bereich von 0,5 mm bis 4 mm.

Zusammenfassung

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