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Norm
DIN 32567-1
Ausgabedatum: 2015 06
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 1: Qualitative Abschätzung der material- und verfahrensspezifischen Einflüsse
Dieses Dokument gibt für die Messung der Schichtdicke und Stufenhöhe der Gestalt aus inhomogenen Materialien mit Tastschnitt-, Weißlichtinterferenz-, Phasenschiebeinterfe...
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Gültig
Herausgeber:
Deutsches Institut für Normung
Format:
Digital | 19 Seiten
Sprache:
Deutsch
ICS
Dieses Dokument gibt für die Messung der Schichtdicke und Stufenhöhe der Gestalt aus inhomogenen Materialien mit Tastschnitt-, Weißlichtinterferenz-, Phasenschiebeinterferenz- und konfokalmikroskopischen Messgeräten Verfahren an, mit denen die systematischen Abweichungen der gemessenen Schichtdicke bzw. Stufenhöhe aufgrund von Materialeinflüssen ermittelt werden können.
DIN 32567-1
2015 06
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile d...
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