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ÖVE/ÖNORM EN 62047-21

Ausgabedatum: 2015 06 01

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschichtwerkstoffen der Mikrosystemtechnik (IEC 62047-21:2014) (deutsche Fassung)

In diesem Teil der IEC 62047 ist ein Verfahren zur Bestimmung der Querkontraktionszahl (Poissonzahl) auf der Grundlage von Messwerten festgelegt, die erhalten werden, wen...
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Gültig
In diesem Teil der IEC 62047 ist ein Verfahren zur Bestimmung der Querkontraktionszahl (Poissonzahl) auf der Grundlage von Messwerten festgelegt, die erhalten werden, wenn einachsige (uniaxiale) und zweiachsige (biaxiale) Beanspruchungen auf Dünnschichtwerkstoffe der Mikrosystemtechnik mit Längen sowie Breiten kleiner als 10 mm und Dicken kleiner als 10 µm ausgeübt werden.
ÖVE/ÖNORM EN 62047-21
2015 06 01
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontrakt...
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