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Norm
DIN 32567-3
Ausgabedatum: 2014 10
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 3: Ableitung von Korrekturwerten für taktile Messgeräte
Dieses Dokument gibt für die taktile topografische Messung der Schichtdicke von Schichtsystemen, bei denen Schicht und Substrat unterschiedliche mechanische Eigenschaften...
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Gültig
Herausgeber:
Deutsches Institut für Normung
Format:
Digital | 28 Seiten
Sprache:
Deutsch
ICS
Dieses Dokument gibt für die taktile topografische Messung der Schichtdicke von Schichtsystemen, bei denen Schicht und Substrat unterschiedliche mechanische Eigenschaften aufweisen, Verfahren an, mit denen die systematischen Abweichungen der gemessenen Schichtdicke ermittelt werden können.
DIN 32567-3
2014 10
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile d...
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