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Norm
DIN 32567-2
Ausgabedatum: 2014 10
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 2: Prüfkörper für taktile Verfahren
Dieses Dokument beschreibt Prüfkörper für topografische Schichtdickenmessungen zur Untersuchung der systematischen Effekte, die auftreten, wenn Schicht und Substrat unter...
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Gültig
Herausgeber:
Deutsches Institut für Normung
Format:
Digital | 13 Seiten
Sprache:
Deutsch
ICS
Dieses Dokument beschreibt Prüfkörper für topografische Schichtdickenmessungen zur Untersuchung der systematischen Effekte, die auftreten, wenn Schicht und Substrat unterschiedliche physikalische Eigenschaften aufweisen.
DIN 32567-2
2014 10
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile d...
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