ÖVE/ÖNORM EN 62047-14

In diesem Teil der ÖVE/ÖNORM EN 62047 sind Begriffe und Verfahren zum Ermitteln der Grenzformänderung (Formänderungsvermögen) von metallischen Dünnschichtwerkstoffen mit Dicken im Bereich von 0,5 µm bis 300 µm festgelegt. Die hier beschriebenen metallischen Dünnschichtwerkstoffe werden üblicherweise in Bauelementen der Elektronik und Mikrosystemtechnik sowie in Mikrobauteilen verwendet. Wenn metallische Dünnschichtwerkstoffe, die in Bauelementen der Mikrosystemtechnik (siehe ÖVE/ÖNORM EN 62047-1:2005, 2.1.2) eingesetzt werden, mithilfe von Umformverfahren wie dem Prägen hergestellt werden, dann ist es notwendig, das Werkstoffversagen zu prognostizieren, um die Zuverlässigkeit der Bauelemente zu verbessern. Mittels dieser Vorhersage kann außerdem die Fertigungseffektivität von Umformverfahren für Bauelemente der Mikrosystemtechnik verbessert werden, da sowohl der Entwicklungszeitraum eines Erzeugnisses als auch die Fertigungskosten reduziert werden können. In diesem Dokument wird eines der Vorhersageverfahren zum Werkstoffversagen während eines Prägeprozesses dargelegt.