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Norm

ÖVE/ÖNORM EN 62047-12

Ausgabedatum: 2012 08 01

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Biege-Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen (IEC 62047-12:2011) (deutsche Fassung)

In diesem Teil der ÖVE/ÖNORM EN 62047 ist ein Prüfverfahren zur Ermüdungsfestigkeit bei Biegebeanspruchungen (Schwingfestigkeit) mechanischer Strukturen im Mikrometerbere...
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Gültig
Herausgeber:
Austrian Standards International
Format:
Digital | 31 Seiten
Sprache:
Deutsch
In diesem Teil der ÖVE/ÖNORM EN 62047 ist ein Prüfverfahren zur Ermüdungsfestigkeit bei Biegebeanspruchungen (Schwingfestigkeit) mechanischer Strukturen im Mikrometerbereich von MEMS-Bauteilen (Bauteile der Mikrosystemtechnik) und Mikromaschinen festgelegt, wobei deren Resonanzschwingverhalten genutzt wird. Diese Norm ist anwendbar auf schwingende Strukturen im Größenbereich von 10 µm bis 1 000 µm in der Längen-achse und von 1 µm bis 100 µm in der Dicke und auf zu prüfende Werkstoffstrukturen in den Abmessungen kleiner 1 mm Länge, kleiner 1 mm Breite und in der Dicke zwischen 0,1 µm und 10 µm.
ÖVE/ÖNORM EN 62047-12
2012 08 01
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Bieg...
Norm
Norm
ISO 12107:2012
Ausgabedatum : 2012 08 14
Metallic materials — Fatigue testing — Statistical planning and analysis of data
Norm
ISO 12107:2012
Ausgabedatum : 2012 08 14
Metallic materials — Fatigue testing — Statistical planning and analysis of data