ÖVE/ÖNORM EN 62047-8

Diese ÖVE/ÖNORM EN legt das Streifen-Biege-Prüfverfahren (en: strip bending test) zur Messung von Zugbeanspruchungsmerkmalen an dünnen Schichten fest und das mit hoher Genauigkeit, Wiederholbarkeit und einem vertretbaren Aufwand für das Einrichten sowie Handling der Mikroproben im Vergleich zum herkömmlichen Zug-Prüfverfahren. Anwendbar ist dieses Prüfverfahren bei Mikroproben mit Dicken zwischen 50 nm und einigen Mikrometern sowie Aspektverhältnissen (Verhältnis von Länge zur Dicke) größer als 300. Der zwischen zwei Einspannpunkten eingehängte Streifen (oder Tragbalken) wird häufig in MEMS- oder Mikrosystem-Bauteilen verwendet. Es ist viel leichter, diese Struktur herzustellen als herkömmliche Zug-Probekörper. Die Prüfdurchführungen sind so einfach, dass sie ohne Weiteres automatisierbar sind. Diese Internationale Norm kann für Qualitätsprüfungen in der MEMS-Produktion verwendet werden, da die Prüfergebnisse in einem sehr hohen Maß mit denen herkömmlicher Zug-Prüfverfahren vergleichbar sind.