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Norm
DIN EN 62047-6
Ausgabedatum: 2010 07
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 6: Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit von Dünnschicht-Werkstoffen (IEC 62047-6:2009); Deutsche Fassung EN 62047-6:2010
In dieser Norm ist ein Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit mit Zug-Zug-Beanspruchung bei konstanter Spannungs- oder Dehnungsamplitude festgelegt für Dünns...
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Gültig
Herausgeber:
Deutsches Institut für Normung
Format:
Digital | 17 Seiten
Sprache:
Deutsch
Fachgebiete
IT, Kommunikation & Elektronik, Elektromechanische Bauelemente für elektronische und Telekommunikationsgeräte, Elektromechanische Bauelemente für elektronische und Telekommunikationsgeräte im Allgemeinen
IT, Kommunikation & Elektronik, Elektronische Bauelemente, Halbleiterbauelemente im Allgemeinen
Elektrotechnik & Lichttechnik, Elektromechanische Bauelemente für elektronische und Telekommunikationsgeräte, Elektromechanische Bauelemente für elektronische und Telekommunikationsgeräte im Allgemeinen
In dieser Norm ist ein Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit mit Zug-Zug-Beanspruchung bei konstanter Spannungs- oder Dehnungsamplitude festgelegt für Dünnschicht-Werkstoffe mit einer Länge und Breite kleiner als 1 mm und einer Dicke im Bereich von 0,1 µm bis 10 µm. Dünnschicht-Werkstoffe werden als hauptsächliche Werkstoffe für die Herstellung von Bauteilen der Mikrosystemtechnik und Mikromaschinen verwendet.
DIN EN 62047-6
2010 07
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 6: Prüfverfahren zur uniaxialen Da...
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