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Norm
ÖVE/ÖNORM EN 62047-3
Ausgabedatum: 2007 03 01
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 3: Dünnschicht-Standardmikroprobe für die Prüfung der Zugbeanspruchung (IEC 62047-3:2006)
In dieser ÖVE/ÖNORM EN ist eine Standardmikroprobe festgelegt, die verwendet wird, um die Richtigkeit und Genauigkeit eines Prüfsystems zur Zugbeanspruchung von Dünnschic...
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Gültig
Herausgeber:
Austrian Standards International
Format:
Digital | 9 Seiten
Sprache:
Deutsch
ICS
In dieser ÖVE/ÖNORM EN ist eine Standardmikroprobe festgelegt, die verwendet wird, um die Richtigkeit und Genauigkeit eines Prüfsystems zur Zugbeanspruchung von Dünnschicht-Werkstoffen mit Längen- und Breiten kleiner als 1 mm und Dicken kleiner als 10 um sicherzustellen, welche die hauptsächlichen Basiswerkstoffe in der Mikrosystemtechnologie, von Mikrobauteilen und ähnlichen Bauteilen sind. Diese ÖVE/ÖNORM EN basiert auf dem Konzept, dass für ein Prüfsystem zur Zugbeanspruchung die Richtigkeit und Genauigkeit zugesichert werden kann, wenn die gemessene Zugfestigkeit der Standard-Mikroproben, deren Zugfestigkeit vorher festgelegt wurde, in einem festgelegten Bereich liegt. Weiterhin sind Festlegungen zu Mikroproben angegeben, um die Merkmalsabweichungen unter den Proben zu minimieren.
ÖVE/ÖNORM EN 62047-3
2007 03 01
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 3: Dünnschicht-Standardmikroprobe für...
Norm
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Norm
ISO 17561:2002
Ausgabedatum :
2002 03 14
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) - Test method for elastic moduli of monolithic ceramics at room temperature by sonic resonance
Norm
ISO 17561:2016
Ausgabedatum :
2016 06 20
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for elastic moduli of monolithic ceramics at room temperature by sonic resonance