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Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 3: Dünnschicht-Standardmikroprobe für die Prüfung der Zugbeanspruchung (IEC 62047-3:2006)

ÖVE/ÖNORM EN 62047-3: 2007 03 01

Zusammenfassung:

In dieser ÖVE/ÖNORM EN ist eine Standardmikroprobe festgelegt, die verwendet wird, um die Richtigkeit und Genauigkeit eines Prüfsystems zur Zugbeanspruchung von Dünnschicht-Werkstoffen mit Längen- und Breiten kleiner als 1 mm und Dicken kleiner als 10 um sicherzustellen, welche die hauptsächlichen Basiswerkstoffe in der Mikrosystemtechnologie, von Mikrobauteilen und ähnlichen Bauteilen sind. Diese ÖVE/ÖNORM EN basiert auf dem Konzept, dass für ein Prüfsystem zur Zugbeanspruchung die Richtigkeit und Genauigkeit zugesichert werden kann, wenn die gemessene Zugfestigkeit der Standard-Mikroproben, deren Zugfestigkeit vorher festgelegt wurde, in einem festgelegten Bereich liegt. Weiterhin sind Festlegungen zu Mikroproben angegeben, um die Merkmalsabweichungen unter den Proben zu minimieren.

Zusammenfassung

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