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Norm

ÖVE/ÖNORM EN 62047-2

Ausgabedatum: 2007 03 01

Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 2: Prüfverfahren zur Zugbeanspruchung bei Dünnschicht-Werkstoffen (IEC 62047-2:2006)

In dieser ÖVE/ÖNORM EN ist ein Prüfverfahren zur Zugbeanspruchung bei Dünnschicht-Werkstoffen, welche die hauptsächlichen Basiswerkstoffe für Bauteile der Mikrosystemtech...
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Gültig
Herausgeber:
Austrian Standards International
Format:
Digital | 14 Seiten
Sprache:
Deutsch
In dieser ÖVE/ÖNORM EN ist ein Prüfverfahren zur Zugbeanspruchung bei Dünnschicht-Werkstoffen, welche die hauptsächlichen Basiswerkstoffe für Bauteile der Mikrosystemtechnik (MEMS, en: micro-electromechanical systems), Mikrobauteile und ähnliche Bauteile mit Längen und Breiten jeweils kleiner als 1 mm und Dicken kleiner als 10 um sind, festgelegt. Die wichtigsten Basiswerkstoffe für Bauteile der Mikrosystemtechnik, Mikrobauteile und ähnliche Bauteile haben solche speziellen Eigenschaften wie Maße üblicherweise im Bereich von einigen Mikrometern, der Werkstoffherstellung durch Abscheideprozesse und der Herstellung von Mikroproben mittels einer nichtmechanischen Verarbeitung unter Verwendung von Ätz- und Fotolithografie-Prozessen. In dieser Internationalen Norm ist das Prüfverfahren festgelegt, welches eine Sicherheit der Genauigkeit, welche zu diesen spezifischen Eigenschaften korrespondiert, erlaubt.
ÖVE/ÖNORM EN 62047-2
2007 03 01
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 2: Prüfverfahren zur Zugbeanspruchung...
Norm
Norm
ISO 6892:1998
Ausgabedatum : 1998 03 05
Metallic materials — Tensile testing at ambient temperature
Entwurf
ISO/DIS 6892
Ausgabedatum : 2007 02 08
Metallic materials — Tensile testing — Method of testing at ambient temperature
Norm
ISO 6892:1998
Ausgabedatum : 1998 03 05
Metallic materials — Tensile testing at ambient temperature