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Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 2: Prüfverfahren zur Zugbeanspruchung bei Dünnschicht-Werkstoffen (IEC 62047-2:2006)

ÖVE/ÖNORM EN 62047-2: 2007 03 01

Zusammenfassung:

In dieser ÖVE/ÖNORM EN ist ein Prüfverfahren zur Zugbeanspruchung bei Dünnschicht-Werkstoffen, welche die hauptsächlichen Basiswerkstoffe für Bauteile der Mikrosystemtechnik (MEMS, en: micro-electromechanical systems), Mikrobauteile und ähnliche Bauteile mit Längen und Breiten jeweils kleiner als 1 mm und Dicken kleiner als 10 um sind, festgelegt. Die wichtigsten Basiswerkstoffe für Bauteile der Mikrosystemtechnik, Mikrobauteile und ähnliche Bauteile haben solche speziellen Eigenschaften wie Maße üblicherweise im Bereich von einigen Mikrometern, der Werkstoffherstellung durch Abscheideprozesse und der Herstellung von Mikroproben mittels einer nichtmechanischen Verarbeitung unter Verwendung von Ätz- und Fotolithografie-Prozessen. In dieser Internationalen Norm ist das Prüfverfahren festgelegt, welches eine Sicherheit der Genauigkeit, welche zu diesen spezifischen Eigenschaften korrespondiert, erlaubt.

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