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Norm

ÖNORM EN ISO 14644-3

Ausgabedatum: 2006 03 01

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 3: Prüfverfahren (ISO 14644-3:2005)

Diese Internationale Norm legt die Messtechnik und die Prüfverfahren fest, die kennzeichnend sind für die Leistung von Reinräumen (turbulenzarme Verdrängungsströmung oder...
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ZURÜCKGEZOGEN : 2020 02 16
Herausgeber:
Austrian Standards International
Format:
Digital | 71 Seiten
Sprache:
Deutsch | Englisch | Download DE/EN
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Diese Internationale Norm legt die Messtechnik und die Prüfverfahren fest, die kennzeichnend sind für die Leistung von Reinräumen (turbulenzarme Verdrängungsströmung oder turbulente Mischlüftung) und Reinen Bereichen in drei verschiedenen Betriebszuständen. Diese Messmethoden empfehlen die Anforderungen an Prüfgeräte und Prüfverfahren zur Bestimmung der Leistungsparameter. Alternative Verfahren werden für die Messmethoden definiert, die vom Reinraumtyp beeinflusst werden. Für einige Prüfungen werden verschiedene Methoden und Geräte empfohlen. Die Prüfmethoden können auch für die Requalifizierung oder periodische Überwachung der Leistung eingesetzt werden. Messungen an Produkten oder Prozessen in Reinräumen werden nicht betrachtet.
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Ausgabedatum : 1998 10 22
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Ausgabedatum : 2001 04 12
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ISO 14644-3:2005
Ausgabedatum : 2005 12 06
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods