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Norm
DIN 50450-9
Ausgabedatum: 2003 04
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger - und Dotiergasen - Teil 9: Bestimmung von Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C<(Index)1>-C<(Index)3>-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff mit Gaschromatographie
Das Dokument legt ein Verfahren zur Bestimmung des Volumenanteiles an Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C1-C3-Kohlenwasserst...
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ZURÜCKGEZOGEN
: 2021 07 02
Herausgeber:
Deutsches Institut für Normung
Format:
Digital | 5 Seiten
Sprache:
Deutsch
Aktuell Gültig:
ICS
Das Dokument legt ein Verfahren zur Bestimmung des Volumenanteiles an Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C1-C3-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff mittels Gaschromatographie fest.
DIN 50450-9
2021 07
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- u...
Norm
DIN 50450-9
2003 04
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger - ...
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DIN 50450-9
Ausgabedatum :
2021 07
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen - Teil 9: Bestimmung von Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C<(Index)1>-C<(Index)3>-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff mit Gaschromatographie