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Norm
DIN EN ISO 10692-2
Ausgabedatum: 2003 04
Ortsbewegliche Gasflaschen - Ventilanschlüsse für die Anwendung in der Mikroelektronik - Teil 2: Spezifikation und Typprüfung der Verbindungen Ventil/Flasche (ISO 10692-2:2001); Deutsche Fassung EN ISO 10692-2:2001
Das Dokument legt eine Prüffolge und Abnahmebedingungen für Ventil/Flaschenverbindungen für Gase und Gasgemische für bestimmte Betriebsbedingungen fest, wo der höchste Re...
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Gültig
Herausgeber:
Deutsches Institut für Normung
Format:
Digital | 10 Seiten
Sprache:
Deutsch
| Englisch
ICS
Das Dokument legt eine Prüffolge und Abnahmebedingungen für Ventil/Flaschenverbindungen für Gase und Gasgemische für bestimmte Betriebsbedingungen fest, wo der höchste Reinheitsgrad und/oder die höchste Partikelfreiheit, z. B. bei der Herstellung von Komponenten der Mikroelektronik, gefordert wird. Es legt ein verbindliches Programm für die Typprüfung fest, damit die Sicherheit der Verbindung gewährleistet ist. Zusätzliche Prüfungen werden für die Bestätigung der Haltbarkeit vorgeschlagen und anderer Betriebseigenschaften der Verbindungen sind im Anhang A enthalten.