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Norm
DIN 50450-3
Ausgabedatum: 1991 03
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung von Methanverunreinigungen in Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff, Argon und Helium mit einem Flammenionisationsdetektor (FID)
Die Norm soll das Prüfverfahren zur Bestimmung des Methangehaltes in den Träger- und Dotiergasen H, O, N, Ar und He unter Verwendung eines FID festlegen.
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ZURÜCKGEZOGEN
: 2022 09 02
Herausgeber:
Deutsches Institut für Normung
Format:
Digital | 2 Seiten
Sprache:
Deutsch
ICS
Die Norm soll das Prüfverfahren zur Bestimmung des Methangehaltes in den Träger- und Dotiergasen H<(Index)2>, O<(Index)2>, N<(Index)2>, Ar und He unter Verwendung eines FID festlegen.