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Norm
DIN 50450-1
Ausgabedatum: 1987 08
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung der Wasserverunreinigung in Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff, Argon und Helium mittels einer Diphosphorpentoxidzelle
Die Norm beschreibt ein Prüfverfahren zur Bestimmung der Wasserverunreinigung in Träger- und Dotiergasen (H, O, N, Ar, He), die in der Halbleitertechnologie verwendet wer...
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Gültig
Herausgeber:
Deutsches Institut für Normung
Format:
Digital | 2 Seiten
Sprache:
Deutsch
ICS
Die Norm beschreibt ein Prüfverfahren zur Bestimmung der Wasserverunreinigung in Träger- und Dotiergasen (H<(Index)2>, O<(Index)2>, N<(Index)2>, Ar, He), die in der Halbleitertechnologie verwendet werden.