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Norm
DIN 50448
Ausgabedatum: 1998 01
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Kontaktlose Messung des spezifischen elektrischen Widerstandes von halbisolierenden Halbleiterscheiben mit kapazitiver Sonde
Das Dokument dient der kontaktfreien Bestimmung des spezifischen elektrischen Widerstandes von hochohmigen, halbisolierenden Halbleiterscheiben.
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ZURÜCKGEZOGEN
: 2009 01 02
Herausgeber:
Deutsches Institut für Normung
Format:
Digital | 3 Seiten
Sprache:
Deutsch
| Englisch
ICS
Das Dokument dient der kontaktfreien Bestimmung des spezifischen elektrischen Widerstandes von hochohmigen, halbisolierenden Halbleiterscheiben.